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ca88ALD实现2.5s/cycle成膜

ca88ALD实现2.5s/cycle成膜

  • 分类：公司新闻
  • 宣布时间：2020-06-01
  • 会见量：0

【提要形貌】ca88电子具有匀气可替换双腔，1cycle时长缩减到2.5s

ca88ALD实现2.5s/cycle成膜

【提要形貌】ca88电子具有匀气可替换双腔，1cycle时长缩减到2.5s

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　　ca88电子具有匀气可替换双腔，1cycle时长缩减到2.5s

 

 

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