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ca88 · 应用案例

原子层沉积(ALD)装备等高端半导体装备、全套半导体线的研发和生产

热烈祝贺ca88电子20套集成电路装备乐成进入厦门大学产教融合平台
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ca88电子集成电路产教融合成套装备含曝光机、双腔ALD、PVD、ICP刻蚀机共20台
助力北大
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北京大学乐成制备性能优越的碳纳米管CMOS器件。我们提供了要害的HfO2高k栅介质低温制备计划
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ca88 · 产品中心

原子层沉积(ALD)装备等高端半导体装备、全套半导体线的研发和生产

 刻蚀机ICP-100
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 刻蚀机RIE-100
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 磁控溅射台-PVD-100
磁控溅射台-PVD-100
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 双腔热型原子层沉积机TALD-D系列
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 365nmLED光源曝光机
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 超大批量生产型原子层沉积系统TALD-1000系列
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外洋微电子装备制造团队与  中科院微电子所  8室专家配合建设

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原子层沉积(ALD)装备等高端半导体装备、全套半导体线的研发和生产

2022

10 09

为了培育选树具有行业顶尖手艺水平的科技立异先进典范,鼎力大举弘扬劳模精神、劳动精神、工匠精神和科学家精神,进一步引发宽大科技事情者立功立业的起劲性、自动性和创立性,10月8日,中国科学院工会举行中国科学院第三届“科苑名匠”宣布运动,全院共12个团队和7名小我私家被授予中国科学院第三届“科苑名匠”称呼a88电子董事长夏洋荣获中国科学院第三届“科苑名匠”称呼。 夏洋先生恒久专注于集成电路手艺及装备研究,为微电子所仪器装备研发中心首创人、ca88董事长,向导研究团队瞄准国家战略需求,突破了多项要害焦点手艺。他在一直的起劲与实验中攻坚克难,在多项国家重大科技妄想项目中肩负微电子仪器装备的研发事情,乐成开发出原子层沉积系统、浸没式等离子注入机、电感耦合等离子体刻蚀机、365纳米i线曝光机等集成电路装备,同时研发出原创变电场原子层沉积、吸附反应外延等装备,实现了我国集成电路高端装备的重大突破。研发的仪器装备在海内外科研单位销售超千台,有力的支持了中科院、北京大学、清华大学等百余家高校院所的前沿科学研究,同时通过焦点手艺支持和增进了我国多家集成电路装备龙头企业的生长。作为一名先生,他为了能让学生更直观的相识和掌握微电子仪器操作要领,配套专业课程专门研发了集成电路系列科教融合装备,接纳立异的“教学+实验”教学模式,为集成电路工艺手艺作育了大宗的工程性专业人才。
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