ca88电子原子层沉积系统通过大规模产线验证
- 分类:公司新闻
- 宣布时间:2016-10-25
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【提要形貌】克日,嘉兴ca88电子装备有限公司生产型原子层沉积装备乐成通过大型微电子、MEMS制造企业产线验证,成为海内首个进入大批量制造工业化市场的原子层沉积机型。
ca88电子原子层沉积系统通过大规模产线验证
【提要形貌】克日,嘉兴ca88电子装备有限公司生产型原子层沉积装备乐成通过大型微电子、MEMS制造企业产线验证,成为海内首个进入大批量制造工业化市场的原子层沉积机型。
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具有LOAD-LOCK腔室的ALD机台
克日,嘉兴ca88电子装备有限公司生产型原子层沉积装备乐成通过大型微电子、MEMS制造企业产线验证,成为海内首个进入大批量制造工业化市场的原子层沉积机型。
双方工程师在ALD装备前合影留念
在生产线上,工厂手艺职员及ca88驻厂工程师对该机型举行了3个月的严酷验证。匀称性、重复性、沟槽笼罩性、颗粒度、生产效率、可靠性等方面的测试均批注,ca88电子原子层沉积系统的装备质量和手艺指标抵达了国际领先水平,足以知足大批量一连生产的需要。
ca88电子原子层沉积系统在大规模生产线的乐成验证,突破了入口装备在工业化市场的垄断职位,替换了相关行业的入口装备,是微电子、MEMS、光伏、LED等行业手艺立异和工业升级的主要动力。
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中科院理化所向导考察嘉兴ca88电子
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